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TU Dresden entwickelt neuartiges Röntgenmikroskop

TU Dresden entwickelt neuartiges Röntgenmikroskop

Ein neuartiges Röntgenmikroskop ist an der Technischen Universität Dresden entwickelt worden. Damit ließen sich etwa Leiterbahnen in Halbleiterchips mit besonders hoher Auflösung und ohne Zerstörung betrachten, teilte die Pressestelle am Dienstag mit.

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Quelle: Norman Rembarz

Dresden. Bisher müssten die Chips besonders präpariert werden, um solche Strukturen sehen zu können. Die Strahlen des neuartigen Mikroskops aber durchdringen den Halbleiter und werden von den Leiterbahnen im Chipinneren stärker gestreut als vom umgebenden Material. Dieser Effekt wird gemessen und bildlich dargestellt. Mit der Methode ließen sich Strukturen kleiner als zehn Nanometern betrachten, hieß es.

dpa

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